CJ係列磁控濺射真空鍍膜機
日期(qī):2016-01-16 13:28:37 人(rén)氣:78060
CJ係列磁控濺射真空鍍膜(mó)機的磁控濺射工作原理,所謂“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊(jī)物體,從而引起物體表麵原子從母體中逸出的現(xiàn)象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁(cí)場,磁場為曲線(xiàn)形,均勻電場和對數電場(chǎng)則分別用於平(píng)麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原(yuán)子發生碰撞。若電(diàn)子(zǐ)具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並(bìng)產生電子,電子飛向基片,Ar+在(zài)電場作用(yòng)下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。
廣泛(fàn)應(yīng)用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機(jī)按鍵(jiàn)外殼以(yǐ)及儀(yí)器儀表、塑料、玻璃(lí)、陶瓷、磁(cí)磚等表麵裝飾性(xìng)鍍膜及工模具的功能塗(tú)層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電(diàn)膜等領域(yù)有優勢。
1)、膜厚可(kě)控(kòng)性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度(dù)的薄膜,並且濺射(shè)鍍膜可以在較(jiào)大的表麵上獲得(dé)厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注入現象,在基片上(shàng)形成一層濺射原子與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料的薄膜,可以使(shǐ)用不(bú)同的材料同(tóng)時濺(jiàn)射製備混合膜、化合膜,還可(kě)濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純(chún)度高,濺射膜層中不會混入坩鍋加熱器(qì)材(cái)料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需(xū)加熱直接(jiē)常(cháng)溫冷(lěng)鍍(dù)成(chéng)膜(mó),節能省(shěng)電,提高產能。
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機(jī)組 | KT800擴散泵機組(zǔ) | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 直流或(huò)中頻電源、鍍膜(mó)輔(fǔ)助離子(zǐ)專用電(diàn)源 |
充氣係(xì)統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量(liàng)流量計 |
控製方式 | 手動或全自動(dòng) | 手(shǒu)動或全自動 | 手動(dòng)或全(quán)自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做(zuò) |