工作原理
WJZ係列無介質獨立膜電阻蒸發真空鍍膜機的原理是在真空室中將金屬材料(鋁、鎳、錫等)利用電阻蒸發技術將材料汽化,汽化後的金屬分子產生飛逸沉積於基材的表(biǎo)麵(miàn)上形成鋁、錫等純金屬薄(báo)膜層,出爐後將(jiāng)膜層從特別(bié)的基材表麵可輕輕剝落,形成無介質獨立性的厚度為2-3μm,具有一(yī)定(dìng)彈性、能夠隔離氣體和光線的薄膜。
應用範圍
產品特點
技術參數表
WJZ係(xì)列無介質獨立膜電阻蒸發真空鍍膜(mó)機 | |||||||
型號 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
真空機組 | KT300擴散泵機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙KT800擴散泵(bèng)機組 |
鍍膜係統 | 電阻蒸發源+圓柱磁控多弧(可選配) | ||||||
鍍(dù)膜輔助係統 | 低溫離子鍍膜電源 | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質(zhì)量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備(bèi)注 | 以上設(shè)備參數僅做參考,具(jù)體均按客戶實際工藝要求設計訂(dìng)做 |