當前(qián)位置:首頁|CJHL係列(liè)磁控多弧真空鍍膜機
工作原理
應(yīng)用範圍
產品特(tè)點
技術參數表
CJHL係列磁控多弧真空鍍膜機 | |||||||
型號 | CJHL-600 | CJHL-800 | CJHL-1000 | CJHL-1200 | CJHL-1400 | CJHL-1500 | CJHL-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組(zǔ) | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散(sàn)泵機組(zǔ) |
鍍膜係(xì)統 | 直流(liú)電源或中頻(pín)電源(yuán)+多弧鍍膜電源、多功(gōng)能孿生磁環弧靶+矩形平麵靶+圓柱(zhù)磁控多(duō)弧兩用靶(可(kě)選配) | ||||||
輔(fǔ)助鍍膜係統(tǒng) | 低溫離(lí)子輔助源(除工具鍍外無需(xū)加溫係(xì)統) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量(liàng)流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備(bèi)注 | 以上設備參數(shù)僅(jǐn)做參考,具體均按(àn)客戶實際(jì)工藝要求(qiú)設計訂做 |