CJ係列磁控濺(jiàn)射真空鍍(dù)膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:78064
CJ係列磁控濺射真空(kōng)鍍膜機的磁控濺射工作原(yuán)理,所謂“濺射”就是用荷(hé)能粒(lì)子(通常用氣體正離(lí)子)轟擊物體,從而引起物體表麵原子從母體中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采(cǎi)用靜止電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和對數電場則分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用(yòng)下,加速飛向(xiàng)基片的(de)過程中(zhōng)與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠(gòu)的能量(約為30ev)時(shí),則電離(lí)出Ar+並產生電子,電子飛(fēi)向基片(piàn),Ar+在電場作用(yòng)下,加速飛(fēi)向陰極(jí)(濺射靶)並以高能量轟擊靶表(biǎo)麵,使靶材發生濺射。
廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵(jiàn)外殼以及儀(yí)器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金(jīn)裝飾膜、導電膜等領域有優勢。
1)、膜厚可控性和重(chóng)複(fù)性(xìng)好。能(néng)夠可靠(kào)的鍍製(zhì)預定厚度的薄膜,並且濺射(shè)鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚(hòu)度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的(de)濺射原(yuán)子產生不同程度的注入(rù)現(xiàn)象,在基片上(shàng)形成一層(céng)濺射原子與(yǔ)基片原(yuán)子相互溶合的偽擴散(sàn)層;
3)、製備特殊材料的薄(báo)膜,可以使用不同的材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高(gāo),濺射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜(mó),節能省電,提高產能。
CJ係列磁控濺(jiàn)射真空鍍(dù)膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴(kuò)散泵機組 | KT500擴散泵(bèng)機組 | KT800擴散泵機組 | KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散泵機(jī)組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 直流或中(zhōng)頻電源、鍍膜輔(fǔ)助離子專用電源 |
充氣係統 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流(liú)量計 |
控製方式 | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動(dòng)或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客(kè)戶實際(jì)工藝要求設計訂做 |