濺射靶材具(jù)有高純度(dù)、高密度(dù)、多組(zǔ)羞羞视频_羞羞漫画_羞羞视频在线观看_羞羞漫画在线观看_羞羞漫画SSS_羞羞色漫_羞羞网站_羞羞漫画在线_羞羞小视频_羞羞影院_羞羞漫画免费观看_羞羞漫画官网、晶粒均勻等特點,一(yī)般由靶坯和背板組成。
靶坯屬於濺射靶材的核心部分(fèn),是高速離子(zǐ)束流轟擊(jī)的目標(biāo)材料(liào)。
靶坯被離子撞(zhuàng)擊後,其表麵原子被濺射(shè)飛散出來並沉積於基板上製成電子(zǐ)薄膜。
由於高純度金屬強度較低,因此濺射靶材需要在高電壓、高真空的機台環境內完(wán)成濺射過程。
超高純金屬的濺射靶坯需要與背板通過不同的焊(hàn)接工藝進行接合,背板起到主要起到(dào)固定濺射靶材的作用,且需要具備良好的導電、導熱性能。