質量流量計（jì），即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確測（cè）量（liàng）氣體流量的儀（yí）表，

其測（cè）量值不因溫度或壓力的波動而失準，不（bú）需要溫度（dù）壓力補償。

質量流量控製器，即Mass flow controller(縮寫為（wéi）MFC），不但具有質量（liàng）流量（liàng）計的功能，

更重要（yào）的是，它能自動控製氣（qì）體流量，即用戶可（kě）根（gēn）據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，

即使（shǐ）係統壓力（lì）有波動或環境溫度（dù）有（yǒu）變化，也不會使其偏（piān）離設定值。

簡單（dān）地說（shuō），質量流量控製（zhì）器就是一個穩定裝置，是一個可（kě）以手動設定或與計算機聯接自動（dòng）控製的氣體穩流裝置。