真(zhēn)空鍍(dù)膜機是目前製作真空(kōng)條(tiáo)件(jiàn)應用最(zuì)為廣(guǎng)泛的真空設備,一般用真空室、真空機組、電氣控製櫃三大(dà)工作原理。
真空主題(tí)--真空腔根據加工產品(pǐn)要求的各異,真(zhēn)空腔(qiāng)的大小(xiǎo)也不一(yī)樣,目前應用最多的有直徑0.9M、1.3M,1.5M、1.8M等(děng),腔體由不鏽鋼(gāng)材料製作,要求不生鏽、堅實(shí)等,真空(kōng)腔各部分有(yǒu)鏈接閥,用來鏈接各(gè)抽氣泵浦。
輔助抽氣係統:排氣係統為鍍膜機真空係統(tǒng)的重要部分,主要有由(yóu)機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三(sān)大部分組成,此排氣係統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機械(xiè)泵+羅茨泵+低溫冷(lěng)阱+polycold組成”。
排氣流程為:機械泵(bèng)先將真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低真空狀態,為擴(kuò)散泵後續抽真空提供前提,之後當擴散(sàn)泵抽真空的時候,機械泵又配合油擴散(sàn)泵組成(chéng)串聯,已這樣的方式完成抽氣動(dòng)作(zuò)。
機械泵:也叫前(qián)級泵,機械泵是應用最廣泛的一種低真空泵,它是用油來保持密封效(xiào)果並依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體(tǐ)積,使被(bèi)抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。