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真空鍍膜機器幾種常用的真(zhēn)空計

作者: 來源: 日期:2016-03-25 10:42:02 人氣:4141
        電阻真空計(又叫皮喇(lǎ)尼真空計): 
        它主要由(yóu)電(diàn)熱(rè)絲、外(wài)殼和支架構成,主要是根(gēn)據在低(dī)壓下,氣體的熱傳(chuán)導係數與壓強成正(zhèng)比的方式(shì)工作的。上麵開口處與(yǔ)被測真空係統相連接,熱絲采用(yòng)電阻溫度係數大的金屬絲做成,兩支支架引線與測量線路連接。當(dāng)壓強(qiáng)降低的時候,由於氣體熱傳導散失的熱量減(jiǎn)小,因此當熱絲加熱電流穩定時候,則熱絲溫度就上升,熱絲的電阻就增大,用測量熱絲電阻值的大小來間接測量壓強。

         磁控放電真空計: 
        工作原理:在放電開始時(shí),由於空間遊離電子向陽(yáng)極運動時,在(zài)正交電(diàn)磁場作用下,電子的軌跡(jì)不是直線而是螺旋線前進,又因為陽極是框形,故電子不一定第一次就碰上陽極,而是穿過陽極,然後受到對麵陰極的拒(jù)斥,又複返回。這樣反複多(duō)次才可能打上陽極。由(yóu)於電子(zǐ)路程大大加長,故(gù)碰撞及電離的分子數增加,使得(dé)在較低壓強(10-4帕以下)仍維(wéi)持放電(也稱(chēng)潘寧放電)。
         目前比(bǐ)較多的型號有PKR251、GI-PARY 

          放電管真空計:

         在玻璃管中封入兩個金屬電極(jí),在其上加上數千伏的(de)直流高電壓,在一定的(de)壓強範圍內(nèi)(1*10-3~2*10托)內就能引起(qǐ)自持放電,通過放電顏色來判定其真(zhēn)空(kōng)度 。 目前為止此種真空計已經(jīng)很少使用,因為其誤差大,容易損壞,而且(qiě)壽命不長。

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