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真空鍍(dù)膜機比較片機構性能

作者: 來源: 日期:2016-03-28 9:29:01 人氣:4240
        分析現有光學真空鍍膜機比較片機構(gòu)在使用過程中存在的問題。根據現代光(guāng)學真空鍍膜機(jī)的發展趨勢和實際生產中急需解決的問題,通過(guò)多方麵的研究分析,優化設計(jì)新一代的鍍(dù)膜機(jī)比較片結構,解決影響光學薄膜質量和超多層精密光學(xué)薄膜(mó)鍍製(zhì)的問題,以提高薄膜的監控精度,實現係統的自動控(kòng)製(zhì),提高光學真空鍍膜機生產效率,降低生產成本。使現代光學真空鍍(dù)膜機的結(jié)構配置及使用效(xiào)果達到最佳。
  從上世紀八十年代以來,全球光電(diàn)科(kē)學(xué)技術(shù)發展與進(jìn)步迅猛,我國研發光學真空鍍膜機設備,在引進(jìn)消化吸收的基礎上(shàng),也(yě)迅速發展起來(lái)。最近(jìn)二十多年,我國(guó)逐漸成為全球光學產品的加工基(jī)地,作為光學產品的關鍵(jiàn)工序,也(yě)是最後一道(dào)工序-- 鍍膜,要求越來(lái)越高,真空鍍膜機性能和配置也必然要(yào)得到加強,提(tí)高設備質(zhì)量、完(wán)善設備性能、提高生(shēng)產效率(lǜ)等問題就顯現出來,這就(jiù)涉及到此類設(shè)備的改(gǎi)造、設計研發,要求(qiú)相(xiàng)關技術人員去解(jiě)決(jué)。
  真空鍍膜機比(bǐ)較片機構就是該類設備(bèi)的必不可少的關鍵部件(jiàn),高端配置的設備對比較片機構要求越來越(yuè)高,它對鍍製多膜層的檢測和生產效率有著重要的不可替代的作用。
        現(xiàn)有真空鍍膜機比較片機構
   國內低端的真空鍍膜機,從發展之(zhī)初到近10年左右,大多還沿(yán)用的該比較片結構,如圖1 所示。此(cǐ)比較片換位機構,通常(cháng)由6 個獨立(lì)的直徑Φ22mm 的比較片組成。該機構主要由(yóu)1 個托盤16、三個支(zhī)撐杆110 及1 個比較片盤18 組成,三個支撐杆110 對托盤(pán)16起固定、支撐的作(zuò)用,比較片盤18 靠齒(chǐ)輪(lún)齧合(hé)把運動輸入使之旋(xuán)轉撥片,三者配合就完成撥片換位動作。由於一般的鍍膜機真空室直徑尺寸都不大,整(zhěng)個機(jī)構的直徑(Φ124mm)相比較就有些偏大,導致工件(jiàn)盤上可裝載的鍍製工件麵積比較小,並且該機構隻可放置6 個比較片13,直(zhí)接影響生產效率。
  該結構的特點(diǎn)是:結構簡單,加工製造方便,安裝(zhuāng)實施方便易行。缺點(diǎn):該結構(gòu)直徑麵積比較大,影響裝載工件的數量;比價片放置數量少,降低了生產(chǎn)效率(lǜ);強度和剛度有限,又由(yóu)於該結構(gòu)完全暴露在真空室內,真空室內高溫濺(jiàn)射磨料的影響,使(shǐ)轉動平(píng)穩性、靈活性一般,傳動位(wèi)置重複的一致性(xìng)誤差較大,清洗維護(hù)頻繁。
  根據現有比(bǐ)較片結構在(zài)使用過程中暴露出(chū)的問題,對原有通用鍍膜機比較片結構進行多次的改進,通(tōng)過設計可重疊放置比較片存儲筒,使比較片機構直徑所占麵積減(jiǎn)小,但放(fàng)置的比較片數量增加到20 片左(zuǒ)右, 整個機構直徑縮小為Φ89mm。結果可增加(jiā)較小工件鍍膜盤上(shàng)裝載工件的數量,提高生產效率,還可以提高薄膜監控的精度,並降低對硬件係統的要求,容易實現對係統的自動控製。
  具體動作實施(shī),改進(jìn)後多片比較(jiào)片機構的轉動,通過連接板23 和連接塊(kuài)21 固定在真空室頂板上,比較片機構的旋轉運動,由旋轉密封軸(zhóu)把運動輸入真空室內的大齒輪,帶動(dòng)小齒輪所在傳動軸24 的轉動,最(zuì)終實現整個比較片機構的轉動。比較片切換比較片時,通過撥盤29 轉動一個工位,比較(jiào)片存儲(chǔ)筒219 內落下一個比較片(piàn),到達預設的位置,同時,切換的比較片隨(suí)著工(gōng)位轉動落在比較片接受筒212 內(nèi),每切換一次,撥動(dòng)一個工位(wèi)。其中,傳(chuán)動軸24、大齒輪、小齒(chǐ)輪和(hé)軸承座組成的傳動機構來完成撥盤(pán)轉動。

  其特點是:(1)減小比較片機構直徑的麵積,提高裝載鍍製工件的數量;(2) 增加比較片的數量,提高生產效率,提高薄膜監控的精度,降低對硬件係統的要求,係統容易實現自動控製。缺點:該比較片結構直徑小而長(Φ89×370),影響其使用的強度和剛度;由於該結構(gòu)暴露在高溫濺射磨料的真空室內,影響其轉動平(píng)穩性、靈活性,且轉動位置重(chóng)複的一致性較差,維護清洗頻繁費工。

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