工(gōng)作原理
WJZ係列無介質獨立(lì)膜電阻蒸發真空鍍膜機(jī)的原理是在真空室中將金屬材料(鋁、鎳、錫等(děng))利用電阻蒸發(fā)技術將材料汽化,汽化後的金屬分(fèn)子產生飛逸沉積於基(jī)材的表麵上形成鋁、錫等純(chún)金屬薄膜層,出爐後將膜(mó)層從特(tè)別的基材表(biǎo)麵可輕輕(qīng)剝落,形成(chéng)無介質獨(dú)立性的厚(hòu)度為2-3μm,具有一定(dìng)彈性、能夠隔離氣體和光線的薄膜。
應用範圍
產品特點
技術參數表
WJZ係列無介(jiè)質獨立膜電阻蒸發真空鍍膜機 | |||||||
型號(hào) | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
真空機組 | KT300擴散泵(bèng)機組(zǔ) | KT400擴(kuò)散泵(bèng)機組 | KT500擴散泵機(jī)組 | KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT800擴散泵(bèng)機組 |
鍍膜係統(tǒng) | 電阻蒸發源+圓柱磁控多弧(可選配) | ||||||
鍍膜輔助係統 | 低溫離子(zǐ)鍍(dù)膜電源 | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質量(liàng)流量計 | 質(zhì)量流量計(jì) | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動(dòng)或(huò)全自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備(bèi)注 | 以上設備參數僅做參考,具體均(jun1)按客戶實(shí)際工藝要求設計訂做 |