真空鍍膜機的原理和（hé）各部件分析
真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的真空設備，一般用（yòng）真空室、真空機組、電氣控製櫃三大部分（fèn）組成，排氣係統采用“擴散泵+機（jī）械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。本公司（sī）專業從事真空（kōng）鍍膜設備的研發（fā）與生產擁（yōng）有經驗豐富（fù）的技術團隊及優質（zhì）的（de）售後（hòu）服務隊伍為您解決設備在使用過程中遇到的任何（hé）問題。下麵，詳細介紹真空鍍膜機的各部分組成及其工作原理（lǐ）。
一、真空（kōng）主體——真空腔根據加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用多（duō）的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不鏽鋼材料製（zhì）作，要求不生鏽、堅實等，真（zhēn）空腔各部分有連接（jiē）閥，用來連接各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣係統 ：排氣係統（tǒng）為（wéi）鍍膜機真空係統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此（cǐ）排氣係統（tǒng）采用“擴散（sàn）泵（bèng）+機械泵+羅茨（cí）泵+低（dī）溫冷阱（jǐng）+polycold”組成（chéng）。排氣（qì）流程為：機械泵先將真空腔抽至（zhì）小於2.0*10-2PA左右的低真（zhēn）空狀態，為擴散泵後繼抽真空提（tí）供前（qián）提（tí），之後當擴散泵抽真空腔的時候，機（jī）械泵又配合油擴散泵組成串聯，以這樣的方式完成抽氣動作。

機械泵：也（yě）叫前級泵，機械泵是應用（yòng）廣泛的（de）一種低真空泵，它（tā）是（shì）用油（yóu）來（lái）保持密封效果（guǒ）並依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
1.機械泵的分類：機械泵有很多種，常用的有滑閥式(此主要應用於大型設備)、活塞往複式（shì）、定片式和旋片式(此目前應用最廣泛，本文主要（yào）介紹)四種類型。
2.機械泵是（shì）從大氣開始工作（zuò）的，它的主要參數有極限（xiàn）真（zhēn）空，抽氣速率，此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以（yǐ）將（jiāng）容器從大（dà）氣（qì）抽到1.0*10-1PA的極限真空，雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕，甚至更高。抽氣速率，是指旋片泵按額定轉數運轉時，單位時間內所能排（pái）出氣體的體積，可以用下公式計算：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸（xī）氣結束時空腔截麵積，L表示空腔長度，係（xì）數（shù）表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過程，Vs表（biǎo）示（shì）當轉子處於水平位置的時候，吸氣結束，此時空腔內（nèi）的體積大，轉速為n。機械（xiè）泵排氣的效（xiào）果還與電機的轉速（sù）及皮帶的（de）鬆緊度有關係，當電機的皮帶比較鬆，電機轉速很慢的時候（hòu），機械泵的排氣（qì）效果也（yě）會變差，所以要經常保養，點檢，機（jī）械泵油的密封效果也需要常常點檢，油過少，達不到密封（fēng）效果，泵內會漏氣，油過多（duō），把吸氣孔堵塞，無法吸氣（qì）和排氣，一般，在油（yóu）位在線下0.5厘米即可。
3.機械（xiè）泵常常被用來抽除幹燥的空氣，但不能抽除含氧量過高、有爆炸（zhà）性和腐蝕性的氣體，機械泵一般被用來抽除永久性的氣體，但是對水氣沒有好的效果，所以它不能抽除水氣。旋（xuán）片泵中起主要作用的部（bù）件是定（dìng）子、轉子、彈片等，轉子在定子裏麵但與定子不同心軸，象兩個內（nèi）切圓（yuán），轉子槽內裝（zhuāng）有兩片彈（dàn）片，兩彈片中間裝有彈簧，保證了彈片緊緊（jǐn）貼在定子（zǐ）的內壁。

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