真空(kōng)蒸鍍、濺鍍、離子鍍
真空鍍主要(yào)包括真(zhēn)空蒸鍍、濺射鍍和離子鍍幾種類型,它們(men)都是采用在真(zhēn)空條件下,通(tōng)過蒸(zhēng)餾或濺射等方式在塑件表麵沉積(jī)各種金屬和非金屬(shǔ)薄膜,通過這樣的(de)方式可以得到非常薄的表麵鍍層,同時具有速度快附(fù)著(zhe)力好的突出優點,但(dàn)是價格也較高,可以進行操作的金屬類型較少,一般用來作較高檔產品的功能性鍍層。
真空蒸鍍法是在高真空下為金屬加(jiā)熱,使其熔融、蒸(zhēng)發,冷卻後在樣品表麵形成金屬薄膜的方法,鍍層厚度為0.8-1.2um。將成(chéng)形品表(biǎo)麵的微小凹凸部分填平,以獲得如鏡麵一樣的表麵,無任是為了得到反射鏡作用而實施真空蒸鍍(dù),還是(shì)對密接性較低的奪鋼進行真空蒸鍍時,都必須(xū)進行底麵塗布(bù)處理。
濺鍍通常指的是磁控濺鍍,屬於高速低溫濺(jiàn)鍍法。該(gāi)工藝要求真空度在1×10-3Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空狀態充入惰(duò)性(xìng)氣(qì)體氬氣(Ar),並在塑膠基材(陽極)和金屬(shǔ)靶材(陰極)之(zhī)間加上高壓直流電,由於輝光放電(glow discharge)產生的電子(zǐ)激發惰性氣體,產生等(děng)離子體,等離子體將金屬靶材(cái)的原子轟出,沉積在(zài)塑膠基材上。一般(bān)金屬鍍膜(mó)大都采用直流濺鍍,而不導電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍。
離子鍍是在真空條件下(xià),利用氣體放電使氣體或(huò)被蒸(zhēng)發物質部分電(diàn)離(lí),並在氣體離子或被蒸發物質離子(zǐ)的轟(hōng)擊下,將蒸發物質或其反應物沉積在基片上的(de)方法。其中包括磁(cí)控濺射離子(zǐ)鍍、反應(yīng)離子鍍、空心(xīn)陰極放電離子鍍(空心陰極蒸鍍(dù)法)、多弧離(lí)子鍍(陰極電弧離子鍍(dù))等(děng)。