對於(yú)真(zhēn)空鍍膜機設備的分(fèn)類,到底了解多少?
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下(xià)進行的鍍膜設備,包括真(zhēn)空(kōng)離子蒸發鍍膜機、磁控濺鍍膜機射、
MBE分子束外延鍍(dù)膜機和PLD激光濺射沉積鍍膜機等很多種。
主(zhǔ)要是分成(chéng)蒸發和濺射兩種。
在真空鍍(dù)膜設備中需要鍍膜(mó)的被成為基片,鍍的材料被成為靶材。
基片與靶材(cái)同在真空腔中。
蒸發鍍膜(mó)一般是加熱靶材使表麵組分以原子團或離子形式(shì)被蒸發出來,並(bìng)且沉降在基片表麵,通過成膜(mó)過程形成薄膜。
真(zhēn)空鍍膜機對於濺射類(lèi)鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能(néng)激(jī)光(guāng)轟擊靶材,並使表麵組分以原子團或離子形式被濺射出(chū)來,
並且最終沉積在基片表麵,經曆成膜過程,最終形成薄膜。爐體可選擇由不鏽鋼(gāng)、碳鋼或它們的組合製(zhì)成的雙層水冷(lěng)結(jié)構。
根據工(gōng)藝要求選擇不同規(guī)格及類型鍍膜設備,其類型(xíng)有電阻蒸發真空鍍膜設備、電子束蒸發真空鍍膜設(shè)備(bèi)、
磁控濺射真空鍍膜(mó)設備、離子鍍真空鍍膜設備、磁控反應濺射真空鍍膜設備、空心陰極離子鍍和多(duō)弧離子鍍等。
夾具運轉形式有自轉、公轉及公(gōng)轉+自(zì)轉方式,用戶可根據片尺寸及(jí)形狀提出相應要求,轉動的速度範圍(wéi)及轉動精(jīng)度:普通可調及變頻調(diào)速等(děng)。