低真空的獲得  

獲得低真空常采用（yòng）機械泵，機械泵是運用機械方法不斷地改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體（tǐ）積不斷膨脹，從而獲得真空的裝置。

它（tā）可以直接在（zài）大氣壓下開始工作，極限真空度一般為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速（sù）率（lǜ）與轉速及空腔體積V的大小有關，一般在每（měi）秒幾升到每秒幾十升之間。

高真空的獲得 

目前，廣泛使用的獲得高真空的（de）泵就（jiù）是擴散泵。擴散泵是利用（yòng）氣體擴散現象來抽氣的，它不能直接在大氣壓下（xià）工（gōng）作，而需要一定的預備真空度（1.33-0.133Pa）。

油擴散泵的極限真（zhēn）空度主要取決於油蒸汽壓和氣體分子的反擴散，一般能（néng）達（dá）到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣（qì）速率與結構相關，每秒幾升--幾百升不等。