微（wēi）信掃一掃 關注浦羞羞视频_羞羞漫画_羞羞视频在线观看_羞羞漫画在线观看_羞羞漫画SSS_羞羞色漫_羞羞网站_羞羞漫画在线_羞羞小视频_羞羞影院_羞羞漫画免费观看_羞羞漫画官网最新動態！等離子（plasma）是除（chú）固體、液體、氣體之外的第四（sì）種物質狀態，主要（yào）是由氣體在高電磁場作用下發生解（jiě）離，形成一種包括電子（帶負電），正離子（帶正電），自由（yóu）基和中性氣體分子組成的高活（huó）性物質，通產情況下會發光。
一般情況下，等離子中的正電荷數等於負電荷數，所以整（zhěng）體呈電中性（Quasi-neutral）。日常生（shēng）活中見到的（de）閃電、日光燈、霓虹燈（dēng）就是等離子（zǐ）體發光現（xiàn）象。
等離子的產生有很多種方法，但（dàn）生成和維持都需（xū）要外部能（néng）量（liàng）的輸入。
電子（zǐ）從外加電磁場獲得能量，然後發生非彈性碰撞產生激發（excitation）、解離吸附（dissociative attachment）、解離（dissociation）、離子化（ionization）、在結合（recombination）反應，由此產生二次電子、原子、分子、離子等（děng）物（wù）質，然而在解離碰撞（zhuàng）中，電子可能與氣體離子（zǐ）有再結合作用，或者因（yīn）為漂移及擴散而離開電磁場範圍等原因消失，因此當電子產（chǎn）生與消失的速率相等時，此時的（de）plasma即為穩定狀態。這裏列舉四種ETCH常用產生plasma的方法，後麵會詳解介紹。
三、等離子體的參數 plasma parameters
平均自（zì）由路徑（Mean Free Path，MFP）：
粒子與粒子碰撞前能夠移動的平均距離。MFP與環（huán）境壓力P呈反（fǎn）比，壓力越高，MFP越（yuè）短，壓力約低，MFP越長，這就是為什麽plasma產生要在低（dī）壓近似真空環境下產（chǎn）生，因為在大氣壓力下（760Torr），電子的（de）MFP很短，很難獲得足夠的能（néng）力來（lái）使（shǐ）用（yòng）氣（qì）體離（lí）子（zǐ）化。