1. 真空檢漏基本概念 

所謂漏氣是（shì）指氣體通過真空係統上的漏孔或間隙，從高壓流向低壓側的（de）一種現象。

主要有以下幾（jǐ）點：

虛漏.氣密性（xìng）.漏孔.漏率.最小可（kě）檢漏率.檢漏靈敏度.反應時間.消除時間.漏孔堵塞現象

2. 漏氣的判斷方法 

1）真空泵工作是否良（liáng）好 

2）真空係統內是否存在（zài）嚴重放氣  

3）真空係統容器壁或間隙處是否漏氣 

4）是否（fǒu）漏氣與放氣（qì）現象共存

3. 真空檢漏法 

1）可動部分：傳動軸及其密封部分 

2）玻璃或（huò）陶瓷一類（lèi）的易損部（bù）分

3）波紋管 

4）使用法蘭和墊圈的密封部分 

5）焊接部分的裂痕處  

4. 真空檢漏技巧 

1）對於正在加工製造過程中（zhōng）的真空容器或裝置來說，最（zuì）好采用氣泡檢（jiǎn）漏法 

2）對於正（zhèng）在使用（yòng）過程中的（de）真空容器（qì）或裝置來說，似乎沒有損壞，但現壓強急劇上升時，首先（xiān）用點著的真空規和作為（wéi）漏液體的酒精（jīng）或丙酮，檢查認為容易（yì）損壞的地方。  

3）若盡管做了上述種種（zhǒng）努力還是找不到漏孔，則要用（yòng）罩子法或壓強（qiáng）上升法來判斷是否漏氣