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真空鍍膜機的輔助抽氣係統：排氣係統為（wéi）鍍膜（mó）真空係（xì）統的重（chóng）要組（zǔ）成部分，機械泵、增壓泵/羅茨泵、擴散（sàn）泵三大部分組成。這個（gè）排氣係統為：擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold。排氣流程：機械泵先將真空腔抽至小於2.0*10-2PA左（zuǒ）右的低真空狀態，為（wéi）擴散泵後續抽真空提供前提，之後當擴散泵抽真（zhēn）空（kōng）的時候，機械泵又（yòu）配合油擴散泵組（zǔ）成串聯，以這樣的方（fāng）式完成抽氣動作。
真空鍍膜機的機械原理以及其分（fèn）類：
機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用很廣的一種低真空泵，它是用油來保持密封（fēng）效果並依靠機（jī）械的方法（fǎ）不斷的改（gǎi）變泵內吸氣空腔的體積（jī），使被抽容器內氣體體積不斷膨脹從（cóng）而獲得真（zhēn）空。
一．機械泵的分類（lèi）：機械泵有很多種，常用的有滑閥式（shì）（主（zhǔ）要（yào）用於大型（xíng）設備），活塞往複式，定（dìng）片式和旋片式（shì）（此目前運用很廣）
二．機械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數有極限真空、抽氣速率、此為設計和（hé）選用機械（xiè）泵的重要依據，單級泵可以將容器從（cóng）大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空，雙級泵可以將（jiāng）容器從大氣抽到6.7*10-2PA，甚至更高。抽氣速率是指旋片泵，按額定轉速運轉時，單位時間內所能排出氣體的體積（jī），可用公式計算：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸（xī）氣結束時空腔截麵（miàn）積（jī），L表示空腔（qiāng）長度，係數表示轉子每旋轉（zhuǎn）一周有兩次排氣過程，Vs表（biǎo）示（shì）當轉（zhuǎn）子處於水平位置的時候，吸氣結束，此時空腔內的體積較大，轉數（shù）為n。機械泵排氣的（de）效果還（hái）與電機的轉數以及皮帶的鬆（sōng）緊度有關，當電（diàn）機的皮（pí）帶比（bǐ）較鬆，電機轉數很慢的時候，機（jī）械泵的排氣效果也會（huì）變差，所以要經常保養，點檢，機械泵的密封效果也需要經常點檢，由過少，達不（bú）到密封效果，泵內會漏氣，油過多（duō），把吸氣孔堵（dǔ）塞，無法吸氣和（hé）排氣，一般在油位線（xiàn）下0.5厘米即可。
三．機械泵常常被用來抽除幹燥的空氣，但不能抽除含氧量過高、有爆炸和腐蝕性的氣體，機械泵一般被用來抽除長久性（xìng）的氣體，但是對水氣沒有好（hǎo）的效果，所以它不能抽（chōu）除（chú）水氣。旋葉（yè）泵中起主要作用的部件（jiàn）是定子、轉子、彈片等，轉子在定子裏麵但與定子不同心軸，像兩個內切圓，轉子槽內裝有兩片彈片，兩片彈片（piàn）中間裝有彈簧，保證了彈片緊緊（jǐn）貼在定子（zǐ）的內壁。