真空鍍膜機主要指一類需要在（zài）較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包（bāo）括真空離子蒸發，磁（cí）控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思（sī）路是分成蒸發和濺射兩種（zhǒng）。真空鍍膜機是（shì）目前製作真空條件應用最為（wéi）廣泛的設備，對其操作程（chéng）序的了解是至關重要的環節，在真空鍍膜（mó）機的具體（tǐ）操（cāo）作過程（chéng）中建議參照以下標（biāo）注說（shuō）明：

        一、 檢查真空鍍膜機各操作控製開（kāi）關是否在"關"位置。

        二、打開總電源開（kāi）關，設備送電。

        三（sān）、低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲後，啟動升鍾（zhōng）罩閥，鍾罩升起。

        四（sì）、安裝固定鎢（wū）螺旋加（jiā）熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在（zài）轉動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子（zǐ）內（nèi）。清理鍾罩內各部位，保證無任何雜質汙物。

        五、落下鍾罩。

        六、啟動抽真空機械泵。

        七、開複合（hé）真空計電源(複（fù）合真空計型號:Fzh-1A)。

               1）左旋鈕"1"順時針旋轉至指向2區段的加熱位置。

               2）低真空表"2"內指（zhǐ）針順（shùn）時針移動，當指針（zhēn）移動至110mA時（shí），左旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量（liàng）位置。

        八、當（dāng）低（dī）真空（kōng）表"2"內指針再次順時針（zhēn）移動至6.7Pa時，低壓閥推入（rù）。這時左旋鈕"1"旋（xuán）轉（zhuǎn）至指向1區段測量位置。

        九、 真空鍍（dù）膜機開通（tōng）冷（lěng）卻（què）水，啟（qǐ）動擴散（sàn）泵，加熱40min。

        十、低壓閥拉出。重複一次⑦動作（zuò）程序:左下旋鈕"1"轉至指向2區段測量位（wèi）置。低真空表"2"內指針順時針（zhēn）移動，當（dāng）指針移動至6.7Pa時，開高壓（yā）閥(閥杆順時針旋轉)。

        十一、等低（dī）真空表（biǎo）"2"內指針右移（yí）動至0.1Pa時，開規管燈絲開關。

                1）發射、零點測量（liàng）鈕"9"旋轉至指向發射位置。

                2）左下旋鈕"1"旋轉（zhuǎn）至指向1區段測量位置。

        十二、 旋轉發射調節鈕"4"，使高壓真空表"5"內指針指向5。

        十三、 發射、零點、測（cè）量旋鈕"9"旋轉至（zhì）指向零點位置。

        十四、旋轉零（líng）點調節鈕"10"，讓高壓真空表"5"內指針指（zhǐ）向（xiàng）0位置。

        十（shí）五、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向測量位置。

        十六、旋（xuán）轉標準（zhǔn）調節鈕"3"，讓高（gāo）壓真空表"5"內指針指向10。

        十七、旋轉"倍加器"開關鈕"8"至指向10-12，當高（gāo）壓（yā）真空表"5"內（nèi）指針逆時針左（zuǒ）移超過1時，再把"倍（bèi）加器"開關旋（xuán）鈕"8"旋轉至指向10-3。

        十八、當高壓真空表"5"內指針逆時針移動超過6.7Pa時，開工件旋轉鈕開關，鍾罩內被鍍件PVDF膜轉動。

        十（shí）九、開蒸發（fā）鈕開關。把電流分插塞插入蒸發電極分配孔內(設有1、 2、 3、 4孔，可插入任（rèn）意一孔)。

        二十、 右（yòu）手旋（xuán）轉右側調壓器手輪，慢慢旋轉（zhuǎn）升壓。

                  1）從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏（yán）色變化情況。

                  2）當鎢螺旋加熱子顏色變成黃橙色，鋁（lǚ）絲開始熔化時，左手（shǒu）操（cāo）作擋板鈕，移（yí）開鎢螺旋上（shàng）方擋板（bǎn）。

                  3）鋁絲全部熔化蒸發，擋（dǎng）板回原位。

                  4）右手旋轉調壓器（qì）手輪回零位。第一次（cì）蒸鍍工作完成。

        二十一、 如果再（zài）想蒸鍍一次(為了增加電極金屬層厚度):把電流分插塞（sāi）撥出插入另一個電極分配孔。重複（fù）⑳操作動作。

        二十二、 關閉規管燈絲開關。關閉高壓閥(逆（nì）時針轉手柄)。關閉工件旋轉。關閉蒸發。旋轉機械（xiè）泵（bèng）鈕至指向擴散泵位置。

        二十三、 低（dī）壓閥拉出。鍾罩充氣。充氣一段時間，當沒有（yǒu）氣.聲時，升鍾罩。

        二十四、鎢螺旋加熱子（zǐ）內加鋁絲。PVDF薄膜調換另一（yī）麵向下 (原下麵已鍍一層鋁膜麵向上)。緊固在（zài）轉動圓盤上。

        二十五、 落鍾罩。開機械泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋轉至指向（xiàng）2區（qū）段測量位置 。

                    2）當低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時，低壓閥推入。

                    3） 左下旋（xuán）鈕"1"旋轉至指向1區段（duàn）測量位置。

                    4）當（dāng）低壓真空表"2"內指針（zhēn）順時針移動到6.7Pa時，開高壓閥。旋鈕"1"旋轉至指向（xiàng）2區段測量（liàng）位置。

                    5）當低壓真（zhēn）空表"2"內指針順時針移動到指向0.1Pa時，開規管（guǎn）燈絲。

                    6）由⑰開始重複操作至⑳ 。

        二十六（liù）、 正常（cháng）生（shēng）產中（zhōng），如遇到突然停電時，要立即切斷高真空測量，關閉規管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出。來電（diàn）後，先（xiān）讓機械泵（bèng）啟動工作3~5min後，再（zài）轉入正常生產。