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磁控濺射技術的優缺(quē)點分析介紹

作者: 來源: 日期:2019-04-17 23:44:10 人氣:1258
        磁(cí)控(kòng)濺射技(jì)術自誕生以來,得到了較快的發展和較廣(guǎng)的應用,對其他鍍膜方法的發展產生了很大的影響。通過大量的實踐,浦羞羞视频_羞羞漫画_羞羞视频在线观看_羞羞漫画在线观看_羞羞漫画SSS_羞羞色漫_羞羞网站_羞羞漫画在线_羞羞小视频_羞羞影院_羞羞漫画免费观看_羞羞漫画官网真空總結出這種技(jì)術的優缺點,如下文所示。

  優點:
  1.沉積速率高,襯底溫升低,對薄(báo)膜損傷小;
  2.對於大多數材料,隻(zhī)要能製造出靶材,就(jiù)可以實現濺射;
  3.濺射得到的薄膜與基底結合良好;
  4.濺射(shè)得到(dào)的薄膜純度較高,密度好,均勻性好;
  5.結果表明,濺射工藝具有良好的重複性,在大麵積襯底上可獲得厚度均勻的薄膜;
  6.可以(yǐ)準確控製塗層厚度,通過改變參數來控製(zhì)薄膜的粒徑;
  7.不同的金屬、合金和氧化物可以混合,同時濺射(shè)在基體上;
  8.易於工(gōng)業化。


  但是磁控濺射也存(cún)在一些問題
  1.該技術所使用的環形磁場迫使次級電子(zǐ)圍繞環形磁場跳躍。因此,由(yóu)環形磁場控(kòng)製的區域是等離子體密度較高的區域(yù)。在該技術中,我們可以看到濺射氣體(tǐ)氬在這一區域發出強烈的(de)淡藍色光芒,形成光暈。光暈下的靶是離(lí)子轟(hōng)擊比較嚴重(chóng)的部分,它會濺出一個圓形的溝槽。環形磁場(chǎng)是電子運動的(de)軌道,環形輝光和(hé)溝槽生動地表現了這一點。靶材的濺射槽一(yī)旦穿透靶材,整個靶材就會報廢,靶材(cái)利用率不(bú)高,一般(bān)低於40%;
  2.等離子體不穩(wěn)定;
  3.由於(yú)基本的磁通量均不能通過磁性(xìng)靶,所以在靶麵附(fù)近不可能產生外加磁場。
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