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一、擴散泵可能不太給力。
解決辦法：可以用（yòng）電離規單接到擴散泵泵口，看擴散泵單抽能達到多少，要看抽的（de）時間和極限，然後進行對比。
二、真空係統有微漏。
解決辦法：這（zhè）就需要慢慢檢漏，看看保真空時間能（néng）不能達不達標。
三、箱體太（tài）髒，太髒放氣量就大了。
解（jiě）決辦法：清（qīng）洗箱體
四、前級真空度不（bú）行，機械泵或機械泵加羅茨泵的極限真空不行。
解（jiě）決（jué）辦法：可以用電阻規單獨檢測前級管道。