如何掌控真空鍍膜的均勻性
作(zuò)者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:2516
如何掌控真空鍍膜的均勻(yún)性
我(wǒ)們先來認(rèn)識下怎麽調試鍍膜機,因為掌握調試鍍膜機是使用鍍膜機的關鍵怎(zěn)麽調試鍍膜機
1、測試設備的抽真空速度,在測試過程中檢查漏氣情(qíng)況與各真空泵的性能;
2、測試設備的(de)密(mì)封(fēng)性能,就是抽到極限後保壓1小時看壓降是否達標(biāo),同時排除細小的(de)漏孔;
3、產品試作,檢驗其他的性能,比如傳動、加熱、絕緣等等;
4、如果有工藝保證的話就繼續打樣並作測試。
5、所有的測試應作(zuò)記錄,並有記錄(lù)人簽字以及有使用部門(mén)或工程部門的人確認簽字
怎麽(me)掌控真空鍍膜的均勻性?
由於車燈鍍膜機原理的(de)不(bú)同分為很多種類,僅僅因為都需要高真空度而(ér)擁有(yǒu)統一(yī)名稱(chēng)。所以對於不同原理的真空鍍膜,影(yǐng)響均勻性的因素(sù)也不盡相同。並且均(jun1)勻性(xìng)這個概(gài)念本身也會隨著鍍膜尺度(dù)和薄(báo)膜成分而有著不同的意(yì)義,下麵分別說一下:
均勻性主要體現在3方麵:
1、厚度上的均(jun1)勻性,也可以理解為粗糙度,在光學薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為單位,約為100A),真空鍍(dù)膜的均勻性已經相當好,可以輕鬆將粗糙度控製在可見光波長的1/10範圍內,也就是說對於多弧離子鍍膜機的光學特性來(lái)說,真空鍍膜沒有任何(hé)障礙(ài)。但是如果是指原子層尺度上的均勻度,也就(jiù)是說要(yào)實現10A甚至1A的表(biǎo)麵平整,是現在(zài)真空鍍膜中主要的技術含量與技(jì)術瓶頸所在。
2、化學組分上的均勻性:就是(shì)說在薄膜中,化合物的原子組分會由於尺度過小(xiǎo)而很容易的產生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果濺(jiàn)控濺射鍍膜機(jī)過程不科學,那麽實際表麵(miàn)的組分並不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜並非是想要的膜的化學成分(fèn),這也是真空鍍膜的技術含(hán)量所在。
3、晶格有序度的均勻性:這決定(dìng)了薄膜是(shì)單晶,多晶,非晶(jīng),是真空鍍膜技術中的熱點問題。
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