如何掌控真空鍍膜的均勻(yún)性
作者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人(rén)氣:2513
如何掌控真空鍍膜的均勻性(xìng)
我們先來認識下怎麽調試(shì)鍍膜機,因為掌握調試鍍膜機是使用(yòng)鍍膜機的關鍵怎麽調試鍍膜機
1、測試設備的抽真空速度,在測試過程(chéng)中檢查漏氣情況與各真空泵的性能;
2、測試設備的(de)密封性能,就是抽到極限後保壓1小時(shí)看壓降是否達標,同時排除細小的漏孔;
3、產品試作,檢驗其(qí)他的性能,比如傳動、加熱(rè)、絕(jué)緣等(děng)等;
4、如果有工藝保證的話就(jiù)繼續打樣並作測試。
5、所有的測試應作記錄,並有記錄人簽字以及有使用部門或工(gōng)程部門的人確認(rèn)簽字
怎麽掌控真空鍍膜(mó)的均勻(yún)性?
由於(yú)車燈鍍膜機原理的不同(tóng)分為很多種類,僅僅因(yīn)為都需要高真空度而擁有統一名稱。所以對於不同(tóng)原理的真空鍍膜,影響均勻性的因素也不盡相同。並且均勻性這個(gè)概念本身(shēn)也會隨著鍍(dù)膜(mó)尺度和薄(báo)膜成分而(ér)有著不同的意(yì)義,下麵分別說一下:
均勻性主要體現在3方麵(miàn):
1、厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙度,在光學薄(báo)膜的尺度上看(也就是1/10波長作為單位,約為100A),真(zhēn)空鍍膜(mó)的均勻性已經相當好,可以輕鬆將粗糙度控製在可見光波長的1/10範圍內,也就是說對於多弧離子鍍膜機的(de)光學(xué)特性來說(shuō),真空鍍膜沒有任何障礙。但是(shì)如果是指原子層尺度上的均勻度,也就是說要實現10A甚至1A的表麵平整,是現在真空鍍膜中主要的技術含量(liàng)與技術(shù)瓶頸所在。
2、化學組分上的均勻性:就是說在薄膜中,化合物的(de)原子組分會由於尺度過小而很容(róng)易的產生不(bú)均(jun1)勻特性,SiTiO3薄膜,如果濺控濺射鍍膜機過程不科學,那麽實際表麵的組分並不是SiTiO3,而可能是其(qí)他的比例,鍍的膜並(bìng)非是想要的膜的化學成分(fèn),這也是真(zhēn)空鍍膜的技術含量所在。
3、晶格有序度的均勻性:這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶(jīng),是真空鍍膜技術中的熱點問題。
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