真空鍍膜塗(tú)層膜厚測量方式?
作者(zhě): 來源: 日期:2021-07-14 12:19:06 人氣:2497
我們(men)日常生活中,很(hěn)多生活物品都經過鍍膜機(jī)鍍上了一(yī)層膜層,讓產品不僅變得更美觀,也更實用。但(dàn)是很多人會有一個(gè)疑問,那既然是鍍了一層膜(mó)層,薄膜(mó)肯定是有厚度大小的(de),那麽(me)薄膜厚度具(jù)體多厚呢(ne),以及怎麽去測量?
薄膜必須沉積在基底之上, 所以離開了基(jī)片也就無從談薄膜沉積的問題。基片的清洗好壞(huài)又對(duì)薄膜的質最有極共重要的影響。同時在薄膜的製作中還必須知道薄膜的厚度,脫離了(le)薄膜的厚度來談薄膜(mó)性質的測最也是亳無意義的。 所以, 膜厚的測量和基片的清洗可以說是和薄膜製作相關的重要技術。一般所謂的厚度是指兩個完全平(píng)整的平行(háng)平麵之間的距離,這個概念是(shì)一個幾(jǐ)何概念(niàn)。
理想的(de)薄膜厚(hòu)度是指基片(piàn)表麵和(hé)薄膜(mó)表麵之間的距離。在薄(báo)膜形貌的三維度量中,相對於(yú)薄膜的厚度來講,其他兩維(wéi)的度量可以說是無窮大。由於實(shí)際上存在的表麵(miàn)是不平整和(hé)不(bú)連續的,而(ér)且薄膜的內部還可能存在著氣孔、雜質、晶格缺陷和表麵吸附分子等等,所有要(yào)嚴(yán)格(gé)地定義和精確(què)地測量薄膜的厚度實際上是很困(kùn)難的(de)。
膜厚的定義位當根據測(cè)址的方法和測址的目(mù)的決定。 因此,同一個薄膜,使用不同的測量(liàng)方(fāng)法會得到不同的結果, 即不同的厚度。
在薄膜油測量中(zhōng)的表麵並不是一個幾何的概念,而是一個 物埋概念,是指表麵分子(原(yuán)子)的集合。 平均表麵是指表麵原(yuán)子所有的點(diǎn)到這(zhè)個麵的(de)距(jù)離代數和等於零, 平(píng)均表麵是一個兒何(hé)概念(niàn)。
我們通常(cháng)將(jiāng)基片的一側的表麵分子的集合的平均(jun1)表麵稱(chēng)為基片表麵;薄膜上不和基片接觸的那一側的表麵的平均表麵稱為薄膜的形狀表麵(miàn),將所測(cè)量的薄膜原子(zǐ)重新排列,使其密(mì)度和大塊狀固體材料完全一樣且均(jun1)勻的(de)分布在(zài)基片表麵上,這時平均表麵稱為薄膜(mó)質量等價表麵;根據所測量薄膜的物理性質等效為一種長(zhǎng)度和(hé)寬度與所測量的(de)薄膜一樣的大塊固體材料的薄膜,這時的平(píng)均表麵(miàn)稱為薄膜物性等價表麵。 形狀(zhuàng)膜厚是比較接近於直觀形式的(de)膜厚, 通常以µm為單位; 質量膜厚反映了(le)薄膜中包(bāo)含物質為多少,通(tōng)常 以 µg/cm#8217;為單位, 物性膜厚在實際使用上較有用, 而且比較容易測(cè)量。
由於實際表麵並不平整,同時薄(báo)膜製(zhì)作過(guò)程(chéng)中又不可避免地要(yào)有各種缺陷、 雜質(zhì)和吸附分子等存在,所以不管用(yòng)哪 一種方法來定(dìng)義和測量膜厚,都是一個平均(jun1)值,而且足包括了雜質、缺陷以及吸附分子(zǐ)在內的(de)薄膜的厚度值。
真空鍍膜機鍍膜是在真空腔體下進行鍍膜的,對於測量膜厚度來說,是需要(yào)這方麵專業的測量儀才能(néng)測出厚度大小。